關于混合氣體的流量測量及控制

從科研實驗到工業(yè)制造，很多涉及氣體應用的行業(yè)都可能會使用混合型氣體；而且在很多實際應用中，需要進行多種氣體定量混合配氣，將不同氣體按一定的比例混合到一起，配出不同濃度、多種組分的工藝氣體后才能更好的滿足工藝性能的要求。

      對于單一組分的氣體，選擇氣體質量流量計進行流量的測量和控制在眾多用氣行業(yè)中已經(jīng)有比較成熟的應用了，尤其是氣體質量流量控制器MFC在對氣體流量的一體化自動控制方面具有很明顯的優(yōu)勢，可以很好的實現(xiàn)跟電腦、上位機之間通過多種協(xié)議通訊，對氣體流量進行精確的閉環(huán)控制。

      然而，氣體質量流量計MFM及質量流量控制器MFC本身也存在幾種不同的工藝原理，目前市場上主要有三種原理：熱式、差壓式、科里奧利（科氏）原理。

      對于混合氣體，如果知道具體的組分比例，則可以選擇熱式或差壓式；因為熱式和差壓式原理雖然是與氣體的質量流量相關，但是也會與氣體自身的其它特性相關，所以需要知道具體是什么氣體或者混合氣體中每種氣體的大概比例，這樣測量出的流量值才會相對準確。

      但在有些應用中，有時候氣體源本身就是不確定的組分，例如組分較多的有機溶劑或者組分不明確的固體蒸發(fā)、揮發(fā)出的氣體，由多種單一氣體非定量混合后的氣體，以及一些工藝流程后排出的氣體等等。。。。這些混合氣體因為不知道其具體組分，但是又需要精確測量流量，則可以使用科里奧利（科氏）質量流量計及質量流量控制器；因為科氏原理的質量流量計只與介質的質量相關，與其它特性無關，所以可以直接輸出質量流量。

但是，科氏產(chǎn)品的造價相對于熱式和差壓式更高一些，所以在具體應用中，如果成本預算有限，對測量結果要求不是很高，又知道混合氣體的主要成分，則可以考慮熱式或差壓式，但是如果對測量結果要求較高，或者混合氣體中并沒有很明顯的主要組分，那么科里奧利（科氏）原理的質量流量計MFM及質量流量控制器MFC還是最合適的選擇。